為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息，根******大學2025年08月政府采購意向公開（第二批）如下：
| 序號 |
采購項目名稱 |
意向編號 |
采購品目 |
采購需求概況 |
預(yù)算金額 |
(萬元)
預(yù)計采購日期 |
備注 |
| 1 |
熒光壽命測量系統(tǒng) |
YX******2 |
A******物理光學儀器 |
開展超快時序光學測量的光譜儀設(shè)備，包括條紋變像管，高靈敏度CCD探測器和單色儀等部分，具體參數(shù)要求為：光譜相應(yīng)范圍覆蓋300-800nm；時間分辨率優(yōu)于3ps；兼具快掃（50-100MHz）和慢掃(0.1-1MHz)兩種模式 |
300 |
2025年08月 |
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| 2 |
FIB掃描電子顯微鏡雙束系統(tǒng) |
YX******3 |
A******顯微鏡 |
"擬購FIB掃描電子顯微鏡雙束系統(tǒng)1套。
主要技術(shù)指標：
1、離子束鏡筒：液態(tài)Ga離子源；分辨率≤3.0nm@30kV；加速電壓0.5-30KV（10V步進）；束流1pA-100nA；壽命≥3000μAh；支持實時邊切邊看。
2、電子束鏡筒：肖特基場發(fā)射燈絲；分辨率≤0.7nm@15KV、≤1.2nm@1KV（非減速模式）；加速電壓0.02-30KV（著陸電壓20eV-30keV）；束流穩(wěn)定性優(yōu)于0.2%/h。
3、探測器：樣品室+鏡筒內(nèi)獨立二次電子探測器（鏡筒內(nèi)無需偏壓）、環(huán)形背散射探測器、2個紅外/彩色CCD相機；支持雙通道同時成像。
4、能譜儀：SDD硅漂移探測器（100mm2，超薄窗）；元素范圍Be4-Cf98；能量分辨率Mn Ka≤127eV、F Ka≤64eV、C Ka≤56eV（@130,000cps，符合ISO 15632:2012）；軟件控制自動伸縮。
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
980 |
2025年08月 |
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| 3 |
化學機械平坦化系統(tǒng) |
YX******4 |
A******工藝試驗機 |
"擬購化學機械平坦化系統(tǒng)1套。
主要技術(shù)指標：
1、加工尺寸： 支持4、6、8英寸；
2、拋光頭轉(zhuǎn)速：最大轉(zhuǎn)速≥200 rpm；誤差±1%；
3、拋光頭采用直驅(qū)電機。加壓方式：分區(qū)加壓控制；
4、拋光頭分區(qū)：8寸拋光頭5zone ；6寸拋光頭4zone：4寸拋光頭 2zone；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
900 |
2025年08月 |
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| 4 |
激光直寫系統(tǒng) |
YX******5 |
A******工藝試驗機 |
"擬購激光直寫系統(tǒng)1套。
主要技術(shù)指標：
1、最小線寬：≤300±50nm（最小光柵周期：≤600nm） ；
2、線寬均勻性：≤50nm（3σ）@ 300nm 分辨率；
3、線粗糙度：≤30nm（3σ）@ 300nm分辨率；
4、正面對準精度≤250nm （平均值）；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
700 |
2025年08月 |
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| 5 |
原子層刻蝕系統(tǒng) |
YX******6 |
A******工藝試驗機 |
"擬購原子層刻蝕系統(tǒng)1套。
主要技術(shù)指標：
1、8英寸向下兼容；
2、射頻：頻率13.56MHz，上射頻額定功率≥1500W，下射頻額定功率≤300W；
3、配備ALE快速切換閥，響應(yīng)時間<30ms；
4、氣路總數(shù)可達8路，每路入口配有截止閥；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
550 |
2025年08月 |
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| 6 |
誤碼率分析儀 |
YX******7 |
A******集成電路參數(shù)測量儀 |
"擬購誤碼率分析儀1臺。
主要技術(shù)指標：
1、支持2-64GBd的碼型產(chǎn)生；
2、支持NRZ,PAM4編碼方式；支持PRBS7,PRBS15,PRBS31,PRBS51輸出；
3、時鐘抖動小于300fs；
4、輸出幅度為50 mV 至 0.8 Vpp (單端)；100 mV 至1.6 V 差分；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
516 |
2025年08月 |
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| 7 |
電子束蒸鍍機 |
YX******8 |
A******工藝試驗機 |
"擬購電子束蒸鍍機1臺。
主要技術(shù)指標：
1、溫度可以高達1100攝氏度，誤差為+/-1%；
2、8”晶圓薄膜沉積均勻性可以達到σ< 1.0%, 49Pts 5mmEE。
3、設(shè)備可以運行最大8”晶圓，并向下兼容；
4、設(shè)備預(yù)留多個功能模塊位置，可以方便升級，添加其他功能模塊，如磁控濺射、離子刻蝕、PLD等；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
450 |
2025年08月 |
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| 8 |
脈沖激光沉積系統(tǒng) |
YX******9 |
A******工藝試驗機 |
"擬脈沖激光沉積系統(tǒng)1臺。
主要規(guī)格參數(shù)：
1、抽氣系統(tǒng)包括進口分子泵(抽速≥650 L/s)和進口渦旋干泵(抽速≥3.1 L/s)，腔體與分子泵之間配有氣動閘板閥，本底真空度優(yōu)于9E-7Pa；
2、靶臺：靶材尺寸及數(shù)量：φ2英寸×3 個；每個靶材均可實現(xiàn)自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)速率≤10 RPM，由電機控制；可在公轉(zhuǎn)方向上擺動掃描，以實現(xiàn)激光對靶材的均勻燒蝕；
3、配備進口RHEED電子槍，電子槍能量最高可達30 KeV，工作氣壓最高可達0.4 Torr（50 Pa）；
4、配備進口ICP離子源，RF電源功率大于500w，流量計10sccm；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
400 |
2025年08月 |
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| 9 |
大帶寬高速時域信號調(diào)制分析儀 |
YX******0 |
A******集成電路參數(shù)測量儀 |
"擬購大帶寬高速時域信號調(diào)制分析儀統(tǒng)1臺。
主要技術(shù)指標：
1、2通道模擬實時帶寬≥59GHz；
2、2通道實時采樣率≥200GS/s；
3、存儲深度 ≥50M；
4、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
5、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
350 |
2025年08月 |
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| 10 |
反應(yīng)離子刻蝕機 |
YX******1 |
A******工藝試驗機 |
"擬購反應(yīng)離子刻蝕機1臺。
主要規(guī)格參數(shù)：
1、設(shè)備8英寸并向下兼容；
2、可實現(xiàn)對Ⅲ-Ⅴ族材料以及硅基材料的低損傷刻蝕；對SiO2的刻蝕：刻蝕速率>25nm/min；
3、最大刻蝕深度<1mm，對PR的選擇比>2.5:1,側(cè)壁傾角88±2°；
4、8英寸范圍內(nèi)刻蝕均勻性<±3%；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
300 |
2025年08月 |
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| 11 |
存儲器芯片測試系統(tǒng) |
YX******2 |
A******集成電路參數(shù)測量儀 |
"擬購存儲器芯片測試系統(tǒng)1套。
主要規(guī)格參數(shù)：
1、覆蓋8*8陣列芯片的測試，配置16個SMU通道；
2、任意波形發(fā)生器：16Bit，8通道，每條通道2G樣點波形存儲深度，采樣率10GS/s；
3、源表：2通道，200V，測量分辨率0.1fA/100nV；
4、最小脈寬：400 ps
5、示波器：8個模擬通道，62.5M記錄長度，2.5G帶寬；
6、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
7、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
300 |
2025年08月 |
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| 12 |
頻譜分析儀 |
YX******3 |
A******集成電路參數(shù)測量儀 |
"擬購頻譜分析儀1臺。
主要規(guī)格參數(shù)：
1、頻率范圍不小于2hz-26.5GHz；
2、實時頻譜分析帶寬不低于500MHz；
3、總體幅度精度±0.27dB；
4、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
5、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
264 |
2025年08月 |
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| 13 |
等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng) |
YX******4 |
A******工藝試驗機 |
"擬購等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)1套。
主要規(guī)格參數(shù)：1、反應(yīng)腔室1套，真空獲得系統(tǒng)1套；
2、下電極1套；射頻電源及匹配器1套，頻率13.56MHz；
3、真空檢測系統(tǒng)1套；電氣控制系統(tǒng) 1套；控制軟件 1套；
3、選配loadlock自動傳輸系統(tǒng)；
4、選配400kHz低頻射頻電源；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
230 |
2025年08月 |
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| 14 |
矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 |
YX******5 |
A******集成電路參數(shù)測量儀 |
"擬購矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀1臺。
主要技術(shù)指標：
1、頻率范圍不低于10MHz-43.5GHz；
2、端口數(shù)量4個；系統(tǒng)動態(tài)范圍119dB；
3、噪聲電平≤-130dBm；
4、相位噪聲≤-119dBc/Hz(@10KHz頻偏)；
5、跡線噪聲 1GHz到40GHz 幅度< 0.008 dB，相位< 0.06°；
6、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
7、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
230 |
2025年08月 |
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| 15 |
功率器件分析儀 |
YX******6 |
A******功率計 |
"擬購功率器件分析儀1臺。
主要技術(shù)指標：
1、具有高電壓高電流IV測量功能，最大電流1500A，最大電壓3KV，且可在1500A和3KV之間進行自動切換；
2、超大電流模塊，最大電流±1500A（脈沖），電流測量分辨率為：2mA，最大輸出電壓±60V，輸出脈沖寬度可設(shè)置范圍為10us至0.5ms；
3、柵極最大輸出電壓：±30V，最大輸出電流：±1A（脈沖模式），±0.1A（DC），最小電流測量分辨率：10pA
4、高壓模塊性能：最大輸出電壓范圍±3KV，最大輸出電流:±8mA；電流測量最小分辨率為：10fA；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
198 |
2025年08月 |
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| 16 |
金相顯微鏡 |
YX******7 |
A******顯微鏡 |
"擬購金相顯微鏡4臺。
主要技術(shù)指標：
1、光學系統(tǒng)及變焦比：設(shè)備需采用遠心光學系統(tǒng)，變焦比或變倍比≥10倍。
2、配備不少于4個物鏡，放大倍數(shù)及參數(shù)要求如下：
3倍鏡頭，放大倍數(shù)范圍需涵蓋45X-400X，數(shù)值孔徑NA≥0.09，工作距離WD≥30mm
10倍鏡頭, 放大倍數(shù)范圍需涵蓋150X-1400X，數(shù)值孔徑NA≥0.30，工作距離WD≥30mm
20倍鏡頭, 放大倍數(shù)范圍需涵蓋300-2900X,數(shù)值孔徑NA≥0.40,工作距離WD≥20mm
40倍鏡頭，放大倍數(shù)范圍需涵蓋600-5800X,數(shù)值孔徑NA≥0.80,工作距離WD≥4.5mm
3、觀察方式包含但不限于：明場、暗場、偏光、明場+暗場、斜射、陰影浮雕、微分干涉；
4、最大樣品高度≥70mm。
5、圖像采集模塊：可采集2D和3D表面形貌圖像，可實現(xiàn)2D和3D圖像自動拼接功能,獲得樣品高倍整體形貌；
6、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
7、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
180 |
2025年08月 |
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| 17 |
相位噪聲分析儀 |
YX******8 |
A******集成電路參數(shù)測量儀 |
"擬購相位噪聲分析儀1臺。
主要技術(shù)指標：
1、相位噪聲測量載波頻率范圍不小于1MHz-50GHz;
2、相位噪聲測量頻偏可達1GHz；
3、可完成測試功能包括瞬態(tài)測試、VCO測試、AM噪聲測試和Alan方差測試；
4、相位噪聲測量SSB相位噪聲、雜散信號、時間抖動；
5、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
6、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
168 |
2025年08月 |
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| 18 |
橢偏儀 |
YX******9 |
A******光學測試儀器 |
"擬購橢偏儀1臺。
主要技術(shù)指標：
1、測量能力： 全穆勒矩陣 16 個元素、偏振光譜 Psi/Delta、折射率、厚度、雙折射 及介電常數(shù)等；
2、光譜范圍： 210nm-1650nm；
3、膜厚重復性精度： ≦ 0.005nm （100nm SiO2/Si， 30 repeats， 1σ） ；膜厚測量精度： ＜0.5 nm (100nm SiO2/Si)；
4、折射率重復性精度： ≦ 0.0005nm（******,100nm SiO2/Si， 30 repeats， 1σ） ；
5、激光定焦：采用激光測距儀精準探測最佳焦距，實現(xiàn)樣品 Mapping 快速掃描測量，采用 x/y 型 Mapping 掃描臺，支持 2/4/6/8 寸樣件多點定位自動掃描測量，軟件一鍵生成 二維/三維膜厚分布圖；
6、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
7、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
120 |
2025年08月 |
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| 19 |
GPU服務(wù)器 |
YX******0 |
A******服務(wù)器 |
"擬購GPU服務(wù)器1臺。
主要技術(shù)指標：
1、4顆X86架構(gòu)CPU， 2.1G, 48C/96T；
2、1TB 內(nèi)存；12塊3.84TB SSD；
3、2個萬兆光口；
4、4個48G顯存高端AI計算GPU卡；
5、滿配冗余電源風扇，含上架導軌；
6、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
7、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。" |
120 |
2025年08月 |
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| 20 |
ESD測試系統(tǒng) |
YX******1 |
A******集成電路參數(shù)測量儀 |
擬購ESD測試系統(tǒng)1套。該系統(tǒng)包括半導體器件及ESD測試平臺、中脈沖寬度擴展器及手動探頭。
主要技術(shù)指標：
1、半導體器件及ESD測試平臺：支持短路電流最大40A ；支持開路電壓最大2KV；支持上升時間10ns；支持脈沖寬度100ns；支持封裝級、晶圓級測試；提供自動測試軟件；提供數(shù)據(jù)分析軟件；支持升級VF-TLP/HBM/HMM。
2、中脈沖寬度擴展器：短路電流最大40A ；開路電壓最大2KV；上升時間10ns；脈沖寬度100ns。
3、手動探頭：探針臺主機大小4英寸；移動精度10 微米；三目體式顯微鏡；目鏡倍率20倍；放大倍率16倍~100倍；200萬像素高清CCD成像系。
4、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年；
5、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后48小時上門服務(wù)、48小時內(nèi)排除故障。 |
104 |
2025年08月 |
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本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。
******大學采購與招標中心
2025年07月04日
