項目名稱:???高真空磁控濺射系統(tǒng)一套???項目編號:???ZBZXHB******
公告開始日期:???2025-07-10 14:40:48???公告截止日期:???2025-07-15 15:00:00
采購單位:******大學(xué)???付款方式:???請查看比選文件
到貨時間要求:???合同簽訂后150個日歷日內(nèi)
預(yù)算總價:???¥990000.00
收貨地址:???望江校區(qū)第一理科樓樓中124 房間
采購清單采購商品:???高真空磁控濺射系統(tǒng)???采購數(shù)量:???1???計量單位:???臺???所屬分類:???其他試驗儀器及裝置
品牌:???-
型號:???-
預(yù)算單價:???¥990000.00
技術(shù)參數(shù)及配置要求:???該設(shè)備具有可控制的磁場、穩(wěn)定的氬氣控制方案,主要用于在超高真空環(huán)境中制備單層、多層薄膜,主要為多層金屬薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體材料薄膜、氧化物薄膜等;濺射方式主要有直流濺射以及射頻濺射。一、真空系統(tǒng):1.▲超高真空304不銹鋼圓柱體反應(yīng)腔體,尺寸不小于450mm高×350mm直徑;腔體頂部采用橡膠圈密封,底部采用金屬密封;采用前開門設(shè)計,方便打開腔體;主腔體配備不少于1個6英寸觀察窗,帶手動擋板;2.★極限真空度:8×10-5Pa;3.恢復(fù)真空時間:大氣至3×10-3Pa≤15min;4.保真空:達(dá)到極限真空度后,關(guān)閉高真空閥一小時,真空室真空度≤7×10-1Pa;5.▲電動蝶閥采用伺服控制,用于自動恒真空系統(tǒng),使濺射使真空保持恒定。6.★真空系統(tǒng)配置:分子泵和前級泵組合,配軟抽閥及軟放閥(可減少真空室排大氣時湍流對工件的影響), 管道通徑為16mm,真空系統(tǒng)管道采用不銹鋼材料,管道軟連接處采用金屬波紋管;各真空閥門為氣動閥門。二、工藝能力:1.制造商需要配合用戶做工藝設(shè)計和工藝參數(shù)調(diào)整;2.★制造商需具備一定的技術(shù)基礎(chǔ)與工藝能力,采用磁控濺射單一技術(shù),制備Ni金屬單質(zhì)薄膜,厚度≥300nm,基底尺寸要求>φ50mm,基底材質(zhì)為PI基材),并在投標(biāo)時提供樣品的測試數(shù)據(jù)(附在投標(biāo)文件中)。要求樣品肉眼觀察無明顯裂紋,背面用光源照射時也不會出現(xiàn)明顯裂紋。3.▲根據(jù)工藝要求,設(shè)備成膜均勻性最優(yōu)可達(dá)(SiO2):±1.5% @ 200mm基片(去除邊緣5mm);三、樣品臺系統(tǒng): 1.★樣品臺具備濺射4英寸基片的能力并向下兼容,安裝在真空腔頂部,向上濺射,樣品臺配置最高溫度不低于800℃,加熱系統(tǒng)采用控溫精度±1℃;2.▲樣品臺可調(diào)工作距離不少于70mm,鋁合金材質(zhì);3.工件轉(zhuǎn)動的動密封為磁流體密封,工件盤軸向、徑向跳動≤±2.5%;四、電源和靶系統(tǒng):1.★主腔室底部配置不少于3套4英寸(使用直徑4英寸的靶材)靶槍;2.所有靶槍均配備獨立的氣動擋板和套筒,防止靶材交叉污染;3.所有靶槍適應(yīng)直流電源或射頻電源工作模式;4.★靶槍電源包括:不少于2套功率500W直流電源,帶專用4路切換器,通過切換器,其中1個直流電源可連接4個靶槍,通過電腦控制切換給不同靶槍供電;不少于1套功率600W射頻電源,帶自動匹配網(wǎng)絡(luò)及輸出電纜;五、電控系統(tǒng):1.▲控電柜采用一體式,儀表安裝柜采用非標(biāo)準(zhǔn)英尺寸,另一側(cè)作為電器元件安裝柜結(jié)構(gòu)為大板式,便于安裝維護(hù),元器件損壞時應(yīng)易于檢測和更換;2.★配不小于15寸觸摸屏控制功能,具有良好的人機(jī)界面與操作功能,可實現(xiàn)濺射鍍膜過程全自動化控制,從排氣到濺射鍍膜結(jié)束整個過程一鍵式自動控制,安全連鎖的操作系統(tǒng);3.控電柜內(nèi)主要電器外購件均選用通過CE認(rèn)證或ISO9001認(rèn)證的生產(chǎn)廠商的產(chǎn)品,確保安全可靠。六、樣品處理裝置1. 加熱板材質(zhì):陶瓷涂層鋁合金2. 攪拌速度:50-1500rpm3. 溫度范圍:室溫-320℃4. 具備計時功能5. 具備自動反轉(zhuǎn)功能七、配置清單1. 真空腔體1套;2. 分子泵和直聯(lián)泵各1套;3. 射頻電源2套,直流電源1套;4. 電控一體機(jī)1套;5. 冷卻循環(huán)水1套;6. 樣品處理裝置1套;7. 滿足招標(biāo)要求的其他配置;
售后服務(wù):???服務(wù)年限:12月;電話支持:7x24小時;商品承諾:原廠全新未拆封正品;質(zhì)保期:一年;
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